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通用高精度絕壓傳感器 |
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CYG002、CYG003 |
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| 以真空壓力為零位參考點的大氣壓、真空度和絕對壓力的測量在科學(xué)研究和工業(yè)儀表中有很廣 |
| 泛的應(yīng)用。我們用先進的微機械加工技術(shù)制造，參考壓力腔用真空靜電封接技術(shù)開發(fā)了該項不同應(yīng)用 |
| 面的系列產(chǎn)品。CYG002用于粗真空度及環(huán)境大氣壓的測量，是膜盒真空計高度計的代替產(chǎn)品及水銀 |
真空壓力計的代換產(chǎn)品。CYG003則是采用進口不銹鋼波紋隔離膜片為敏感組件制作的通用傳感器， |
| 是一種寬量程介質(zhì)普適性強的絕對壓力傳感器. |
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| 一.主要技術(shù)指標(biāo) |
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型 號 |
CYG002 |
CYG003 |
量 程 |
0—100，200KPa |
0—10，16，…1000KPa 100MPa |
零位輸出 |
≤±10mV |
≤±5mV |
滿量程輸出 |
30—200mV（視量程而定） |
過載能力 |
200﹪ |
供電電源 |
恒流源供電9 mA或恒壓源供電﹢15V |
恒流源供電1—2 mA或恒壓源供電﹢15V |
電橋阻抗 |
0.3—1 K? |
3—6 K |
補償溫區(qū) |
﹣10℃—﹢60℃ |
工作溫區(qū) |
﹣40℃—﹢80℃ |
適用介質(zhì) |
無腐蝕性氣體及對硅、玻璃、環(huán)氧樹脂不腐蝕、相兼容的介質(zhì) |
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| 二.分檔性能參數(shù) |
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指標(biāo)
檔級 |
零點時漂
mv8小時 |
零點溫度系數(shù)
×10﹣4 / ℃·FS |
靈敏度溫度系數(shù)
×10﹣4 / ℃·FS |
非線性
±﹪FS |
不重復(fù)性，遲滯
﹪FS |
A |
0.2 |
5 |
5 |
0.5 |
0.2 |
B |
0.2 |
3 |
3 |
0.3 |
0.15 |
C |
0.1 |
2 |
2 |
0.2 |
0.1 |
D |
高精度要求特定 |
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| 三.標(biāo)準(zhǔn)外形、壓力接口及殼體材料 |
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| 下圖為傳感器標(biāo)準(zhǔn)外型，壓力接口可以在M12×1和M20×1.5選擇，亦可特定外型及接口，材料 |
| 為1Cr18Ni9Ti。 |
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